Вакууметр МВАК-01 разработан в рамках ПП РФ 1649.
Назначение изделия
Вакуумметр МВАК-01 со встроенным контроллером предназначен для измерения пониженного давления в диапазоне низкого и среднего вакуума от 1,0×10-1 до 1,0×105 Па. Вакуумметр МВАК-01 не предназначен для измерений в средах горючих или взрывоопасных газов. Вакуумметр может работать автономно или под управлением стандартного компьютера.
Величина давления отображается на графическом дисплее вакуумметра и передается на стандартный компьютер по интерфейсам RS485 и EtherCAT. Вакуумметр также имеет аналоговые выходы стандартов «0-10 В» и «4-20 мА».
Принцип действия
В состав вакуумметра МВАК-01 входит чувствительный элемент, который представляет собой нагревательную мембрану, выполненную из поликремния, а также нескольких термопар, также выполненных из поликремния. Нагреваемая мембрана, подвешена в газе и отдает газу тепло при столкновении молекул газа с поверхностью мембраны. При изменении давления пропорционально меняется количество молекул газа и соответственно теплоотвод от мембраны. Термопары, расположенные на разном удалении от мембраны измеряют температуру газа. Таким образом, изменения температуры, является мерой давления (вакуума).
Технические характеристики
Наименование параметра | Значение параметра |
---|---|
Электропитание, В | 12-30 |
Диапазон измерений | 2х10-3 мбар-1000 мбар |
Выходные интерфейсы | EtherCAT RS-485 4-20 мА 0-10 В дисплей |
Входной фланец | KF10, иные – под заказ |
Материал входного фланца | Нержавеющая сталь 304 |
Воспроизводимость | 1,0×10⁻¹ \~1,0×10³ Па: ±5% 1,0×10³ \~1,0×10⁵ Па: ±25% |
Максимальное давление (абсолютное) | 1,5×10⁵ Па |
Длительность цикла измерений | постоянно/по запросу 100 мс |
Температура окружающей среды (рабочая) | 0 ºC…+45 ºC |
Температура окружающей среды (хранение) | -40º C…+75 ºC |
Относительная влажность окружающей среды (рабочая) | 5…85 %, без конденсации |
Подключение к вакуумной системе | DN10KF – иное под заказ |
Материалы находящиеся под вакуумом | SS304, SS316L, Ковар 4J50, нагреватель и термопары из поликремния, вакуумный ввод стекло |
Точность | 1000–20 мбар:< 30% 20–10-2 мбар: <10% < 10-2 мбар: < 30% |
Масса, не более, кг | 0,3 |
Максимальная потребляемая мощность, Вт | 0,2 |
Класс защиты | IP40, иное – под заказ |
Габаритные размеры ВхШхГ, мм | 100х60х40 |
Собственная разработка