8 (800) 600 67 43

8 (800) 600 67 43

Вакуумметры

Вакууметр МВАК-01 разработан в рамках ПП РФ 1649.

Назначение изделия

Вакуумметр МВАК-01 со встроенным контроллером предназначен для измерения пониженного давления в диапазоне низкого и среднего вакуума от 1,0×10-1 до 1,0×105 Па. Вакуумметр МВАК-01 не предназначен для измерений в средах горючих или взрывоопасных газов. Вакуумметр может работать автономно или под управлением стандартного компьютера. 
Величина давления отображается на графическом дисплее вакуумметра и передается на стандартный компьютер по интерфейсам RS485 и EtherCAT. Вакуумметр также имеет аналоговые выходы стандартов «0-10 В» и «4-20 мА».

Принцип действия

В состав вакуумметра МВАК-01 входит чувствительный элемент, который представляет собой нагревательную мембрану, выполненную из поликремния, а также нескольких термопар, также выполненных из поликремния. Нагреваемая мембрана, подвешена в газе и отдает газу тепло при столкновении молекул газа с поверхностью мембраны. При изменении давления пропорционально меняется количество молекул газа и соответственно теплоотвод от мембраны. Термопары, расположенные на разном удалении от мембраны измеряют температуру газа. Таким образом, изменения температуры, является мерой давления (вакуума).

Технические характеристики

Наименование параметра Значение параметра
Электропитание, В 12-30
Диапазон измерений 2х10-3 мбар-1000 мбар
Выходные интерфейсы EtherCAT 
RS-485 
4-20 мА 
0-10 В 
дисплей
Входной фланец KF10, иные – под заказ
Материал входного фланца Нержавеющая сталь 304
Воспроизводимость 1,0×10⁻¹ \~1,0×10³ Па: ±5% 1,0×10³ \~1,0×10⁵ Па: ±25%
Максимальное давление (абсолютное) 1,5×10⁵ Па
Длительность цикла измерений постоянно/по запросу 100 мс
Температура окружающей среды (рабочая) 0 ºC…+45 ºC
Температура окружающей среды (хранение) -40º C…+75 ºC
Относительная влажность окружающей среды (рабочая) 5…85 %, без конденсации
Подключение к вакуумной системе DN10KF – иное под заказ
Материалы находящиеся под вакуумом SS304, SS316L, Ковар 4J50, нагреватель и термопары из поликремния, вакуумный ввод стекло
Точность 1000–20 мбар:< 30% 
20–10-2 мбар: <10% 
< 10-2 мбар: < 30%
Масса, не более, кг 0,3
Максимальная потребляемая мощность, Вт 0,2
Класс защиты IP40, иное – под заказ
Габаритные размеры ВхШхГ, мм 100х60х40

Собственная разработка

Задайте вопросы специалисту ИЦ МН

Почта: info@ecml.ru

УСЛУГИ ЦЕНТРА

«Инжиниринговый центр молекулярного наслаивания» оказывает услуги государственным и частным компаниям, производствам, заводам, институтам и лабораториям. Все лицензии и патенты на разработки подтверждены сертификатами РосРеестра

8 (800) 600 67 43