8 (800) 600 67 43

8 (800) 600 67 43

Установка молекулярного наслаивания объемного типа УМН-4П/30

Технические характеристики

Объем реакционной камеры, л 30
Температура подложки во время процесса, °С до 250
Тип подложки Пластины, 3D объекты, объекты с большой удельной поверхностью
Загрузка подложки Ручная
Количество и агрегатное состояние прекурсоров:
Количество вводов прекурсоров 4
Получаемые покрытия Al2O3, TiO2, Ta2O5 и др.
Напряжение питания, В 380
Максимальная потребляемая мощность, кВт 10
Габаритные размеры установки: ДхШхВ, мм 2040х820х2120
Масса, кг 620

Области применения

  • Твердые смазки
  • Износостойкие
  • и коррозионностойкие
  • покрытия
  • Суперконденсаторы
  • Электроды и диэлектрики
  • затворов
  • Диффузионные барьеры
  • МЭМС/НЭМС
  • (MEMS/NEMS)
  • Оптические фильтры
  • Прозрачные проводники
  • Солнечные фотоэлементы
  • Электролюминесценция

Собственная разработка

Задайте вопросы специалисту ИЦ МН

Почта: info@ecml.ru

УСЛУГИ ЦЕНТРА

«Инжиниринговый центр молекулярного наслаивания» оказывает услуги государственным и частным компаниям, производствам, заводам, институтам и лабораториям. Все лицензии и патенты на разработки подтверждены сертификатами РосРеестра

8 (800) 600 67 43